ダウンタイム

ダウンタイムを短縮して生産性を向上する

SiFusion治具は大幅に予防保全による炉のダウンタイムを短縮し、熱処理工程における生産性低下の主な原因を除去します。

ホットゾーンで使用される石英とシリコンカーバイド製の消耗部品は、予防保全のために行われる定期的洗浄と交換を1～2週間に1回の割合で行わなければなりません。洗浄と再較正は最高で4シフトかかります。

SiFusion治具は長い耐用年数と定期洗浄の必要がない ため、炉のメンテナンス後、次のメンテナンスまでの稼動期間が長くなり、スループット向上につながります。

さらに、SiFusionは洗浄や従来頻繁に行っている消耗部品交換の際に起こるヒューマンエラーの可能性を軽減することができます。

定期洗浄の必要がない

IC製造業者の設定した欠陥密度の基準に合わせるためには、従来の石英およびシリコンカーバイド製の消耗部品は定期的な周期で行う洗浄が必須となります。例えば、新しくインストールした石英製タワーは、パーティクルが限度を超えるまで17～34 工程使用した後、取り外して洗浄しなければなりません。この洗浄処理は時間がかかり、かなりの炉のダウンタイムをもたらします。

SiFusionポリシリコン製治具はこの定期洗浄を必要としないため、ダウンタイムとそれによる生産性損失を最小限に抑えることができます。また、化学洗浄剤の購入と廃棄にかかるコストを節約するとともに、ウェハ製造が引き起こす好ましくない 環境フットプリント を低減することができます。

交換頻度の低減

SiFusion製治具の機能寿命は石英製の数倍あります。SiFusion製品の劣化は他の材料で作られた製品に比べ、かなりゆっくりした速度で進んでいきます。高温プロセスの場合、SiFusion製品は4年以上にわたって使用できることが実証されています。

精密な製造公差を達成

石英またはシリコンカーバイド製の消耗部品を取り外して洗浄した場合、炉の自動装置を再較正しなければならないため、洗浄に要したダウンタイムが長くなります。

ポリシリコンの特性により精密な製造公差が向上し、より効率的なロボットインターフェースが可能になるため、ウェハのロード/アンロード時間が短縮されます。

従来のシリコンカーバイドと石英製品に比べた場合のSiFusion製品の利点について、詳しくは下記の資料をご覧ください：

所有コスト

欠陥