テクノロジー
[Grooves]
English Japanese
3

SiFusionテクノロジーの優位点

従来より使用されているクオーツおよびシリコンカーバイド製の消耗部品では、歩留り、生産コストおよび環境上の問題を今以上に改善することに限界あります。SiFusionテクノロジーはその限界を超えて、デバイスの小型化につれて増大する半導体熱処理上の要求に応えることができます。

SiFusionは 特許登録された技術で、ポリシリコン構造部材の加工と組み立てに使用されます。この高度な技術を要する、高い純度と耐用性の高い熱処理炉用治具の製造を可能にしたSiFusionは、この分野で他に例のない優れた技術となっています。

3つの革新的技術がSiFusionの中核を成しています：

  • ポリシリコン構造部材の製造
  • 高純度ポリシリコン部材の接合技術
  • 表面処理による膜のひび割れ、剥離の抑制

インテグレーテッドマテリアルズは引き続き、熱処理炉用ファーネスウェアの信頼性とプロセスの効率をさらに高める方法を開発するため、SiFusion技術に関わる基礎科学の研究に力を注いでいます。

従来の技術的問題

熱処理炉の消耗部品の材料として従来から使用されてきた石英とシリコンカーバイドはウェハに欠陥や汚染を引き起こす大きな原因となっています。

シリコンの科学

SiFusionの高純度ポリシリコンはウェハそのものと同じ素材であるため、半導体の熱処理に使用される治具の材料として理想的であり、これまでにない優れた結果を得ることができます。

SiFusionの製造

SiFusionテクノロジーの中核はポリシリコンを加工、接合してウェハプロセス用治具を作製することを可能にする製造技術です。

SiFusionの科学がお客様にどのようなメリットをもたらすか、詳しくは下記の資料をご覧ください：