ボート

拡散炉プロセス用に設計されたSiFusionボートは、従来の石英およびシリコンカーバイドの治具に代わる、高純度で高性能を発揮する製品です。 SiFusionボートはパーティクル と結晶のスリップ と 結晶のスリップ. の発生を防止する重要な鍵です。この二つの障碍を取り除いて歩留りを改善するために、SiFusionボートがこれからのIC製造にとって不可欠なツールとなります。

SiFusion製品群には、縦型炉の主要機種全てに使用できる各種のボートが含まれています。

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SiFusionプロダクトスイート

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