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SiFusionシェルフボートは高温処理プロセスで使われる部品です。現在使われているCVD法で被覆した黒鉛またはシリコンカーバイドのものは不良を起こしやすく純度に問題がありますが、SiFusionシェルフボートはそれに代わる高純度の治具です。

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