ライト・ウィリアムズ＆ケリーの所有コスト調査でLPCVDプロセスにおけるインテグレーティッドマテリアルズ製S

【2006年5月23日・米カリフォルニア州サニーベール発】　純ポリシリコン製ファーネスウェアを製造する半導体業界大手のインテグレーティッドマテリアルズ（IMI）は、コスト・生産性マネジメントソフト製造とコンサルティングサービスで有名な独立系企業ライト・ウィリアムズ・アンド・ケリー（WWK）が、当社のファーネスウェアSiFusion™の所有コスト調査結果をリリースしたと発表しました。

インテグレーティッドマテリアルズから委託を受けて実施されたこの分析は、クォーツ（石英）やシリコンカーバイドでできた従来型の製品とポリシリコン製のSiFusionファーネスウェア双方のコストおよび生産性の問題を比較検討することにより、LPCVD（減圧CVD）アプリケーションにおけるSiFusionの金銭的な利点を定量的に検証したものです。この調査では、SiFusionが「クリーニングの必要を完全になくしたことで（中略）所有コストの大幅な削減を実現」したと結論づけています。

WWKのDavid Jimenez社長は言います。「プロセスのコスト構造に大きな改善をもたらす可能性を生むような調査を実施する機会は、ごく稀にしかありません。当社でSiFusionを調査した結果、このタイプのポリシリコン製品によって、LPCVDの所有コストを削減できるだけでなく、システム全体の可用性を向上させるともに、半導体工場のマネージャーの多くが資材調達の際に目安としている数字よりもはるかに短い期間でコストを回収できることがわかりました。」

WWKの所有コスト分析には、生産設備稼働率、週間ウェハ良品率、年間クリーニング費用、年間部品消耗率ならびに年間破損率が含まれます。これらの要素それぞれについて、SiFusionファーネスウェアは、クォーツやシリコンカーバイドを使った消耗品に比べてはるかに優れた性能を発揮しました。

200mm所有コスト調査結果：　材料所有コスト（ボート／ライナー） SiFusion／SiFusion $2.10 クォーツ／クォーツ $2.65 シリコンカーバイド／シリコンカーバイド $3.02

300mm所有コスト調査結果：　材料所有コスト（ボート／ライナー） SiFusion／SiFusion $2.79 クォーツ／クォーツ $3.58 シリコンカーバイド／シリコンカーバイド $4.51

インテグレーティッドマテリアルズが特許を持つSiFusion技術によって初めて、ポリシリコン製ファーネスウェア製品の製造が可能になりました。これは、クォーツやシリコンカーバイドでできた従来型の消耗品に代わる初の純ポリシリコン製品です。SiFusion製品ラインには、ファーネスボート、タワー、ペデスタルなどがあります。

インテグレーティッドマテリアルズでマーケティング担当バイスプレジデント（VP）を務めるDuncan Dobsonは言います。「半導体産業は過去20年以上にわたって、ファーネスプロセスにおいてクォーツやシリコンカーバイドの使用に伴って生じる深刻な問題のソリューションを探し求めてきました。インテグレーティッドマテリアルズは、この種の問題に対するソリューションを開発しましたが、この業界における製造コスト分析の権威として知られるライト・ウィリアムズ・アンド・ケリーが、独立した第三者の立場からその有効性を確認してくれたことをうれしく思います。」

今回のWWKの調査では、200 mmおよび 300 mmの LPCVD プロセスについてIMIのSiFusionファーネスウェアによる所有コスト上の利点が調べられました。SiFusion部品を従来型のクォーツおよびシリコンカーバイド製品と比較した結果、SiFusion部品を使うことにより、300 mmプロセスの生産稼働率が7パーセント以上も向上したほか、シリコンカーバイド製の部品と比較して、耐用期間通算コストが200万ドル近くも削減できることが明らかになりました。

この調査は、WWKの所有コスト（COO）および設備総合効率（OEE）シミュレーションソフトウェアTWO COOL®、ならびにモデリング／エンジニアリング現場サポートを使って行われました。窒化ケイ素プロセスのCOO調査に基づいた初回調査報告書は、当社ウェブサイト（www.sifusion.com/nitride）でダウンロードできます。

インテグレーティッドマテリアルズについて SiFusion™で特許を取得したインテグレーティッドマテリアルズ（Integrated Materials, Inc. 本社：米国カリフォルニア州サニーベール）は、半導体業界が長年にわたって追求してきたポリシリコンファーネス・フィクスチャー・ソリューションを世界で唯一かつ初めて完成させた企業です。当社独自のSiFusionポリシリコンファーネスウェアは、クォーツ製またはシリコンカーバイド製の従来型の消耗品に代わって、LPCVD（減圧CVD）工程において発生する微粒子や高温プロセスで発生する微量金属による汚染およびスリップを減少させることによって歩留まりを改善する、ユニークな製品群です。SiFusionファーネスウェアを導入することによって、定期的なクリーニングの必要がなくなり、生産性が向上してコストを削減できます。すでに200 mm／300 mmウェハファブ主要各社による実証試験で認定を受けているSiFusionは、今すぐにご利用いただけます。インテグレーティッドマテリアルズ製品は、アプリケーションエンジニアチームならびに国内のサポートスタッフによるサポートを世界各地で受けられます。ウェブサイト：www.integratedmaterials.com

ライト・ウィリアムズ・アンド・ケリーについて 世界各地に3,000社以上ものユーザーを擁するライト・ウィリアムズ・アンド・ケリー（Wright Williams & Kelly, Inc.）は、技術依存型・技術主導型企業に貢献する操業コストマネジメント用ソフトウェア製造ならびにコンサルティング最大手（非公開企業）です。WWKは、米半導体製造技術協会（SEMATECH）、半導体先端テクノロジーズ（SELETE）、国際半導体製造装置材料協会（SEMI）ならびに国立研究機関や大学など、半導体産業界の主要組織との間に長期的な関係を維持しています。その顧客ベースには、半導体メーカー上位20社ほぼ全社が名を連ねているほか、ナノテクノロジー、マイクロマシン技術（MEMS）、薄膜記録ヘッド、磁気メディア、フラットパネルディスプレイ、ソーラーパネル、防衛産業などのトップ企業も含まれています。

WWKの製品ラインには、所有コスト（COO）・設備総合効率（OEE）の詳細なプロセスステップレベル評価用のTWO COOL®、プロセスフローおよびテストセルのコスト評価用のPRO COOL®、工場の総生産能力および活動ベースコスト評価用のFactory Commander®、ならびにサイクルタイム削減およびWIPプランニング用のFactory Explorer®があります。このほか、WWKでは、営業員による製品構成および見積り作成の過程でエラーを排除するのに役立つ高度な柔軟性を持つ製品マネジメントソフトウェアパッケージも提供しています。ウェブサイト：www.wwk.com