東京エレクトロン（株）とインテグレーテッドマテリアルズ社共同による 戦略的マーケティングアライアンス�

東京エレクトロン（株）とインテグレーテッドマテリアルズ社共同による 戦略的マーケティングアライアンスプログラムの発表

東京エレクトロン（株）(TEL)（東京都港区　社長：佐藤潔）とインテグレーテッドマテリアル社（IMI）（米国カリフォルニア州　CEO：Daniel Rubin）は、TEL製熱処理成膜装置とIMI製 ファーネス用治具（SiFusionTM）による新しい協力体制を発表いたしました。

今回の合意により、TELはIMI製品を推奨部品の一つとして採用し、LPCVD POLYアプリケーション向けにIMIの100%ポリシリコン製部品SiFusionTMの独占供給を受けます。IMIが独自に有するSiFusionTMの表面技術により、TEL LPCVD POLY装置のPMサイクルは従来比で5倍から20倍に延長されます。これにより、従来の定期メンテナンス（PM）頻度やクリーニングコストが削減され、熱処理成膜装置の稼働率が向上することで、TCO　(Total Cost of Ownership) の改善を期待する事ができます。

「弊社は、常にお客様にとって有意義な新しい技術を取り込んで行きたいと思っています。 この協力により、熱処理成膜装置の更なる性能向上と、最善のCoOをお客様にご提供できるものと確信しております。」 東京エレクトロン(株)取締役常務執行役員兼TPS　BUゼネラルマネージャー　竹中　博司

「IMIは業界で初めて、そして唯一、100%のポリシリコン材料でファーネス治具を製造することに成功致しました。世界中のIC製造分野に対し、TELの最先端熱処理成膜装置とともに、高純度でメンテナンスの容易な低CoOのファーネス治具ソリューションをご提供して行きたいと思います。」 IMI社　社長兼CoO　ダニエル･ルビン　

TELとIMIは、今回の協力体制により、お客様に対して更なる付加価値をご提供し、 更に他のアプリケーションへの展開も含めた検討も進めて参ります。

お問い合わせ 東京エレクトロン(株)　ポストセールス本部サービス戦略企画部 中原　哲也 電話番号：042-333-8357 e-mail：tetsuya.nakahara@tel.com

インテグレーテッドマテリアルズ社　セールス＆マーケティング 電話番号：+1-408-437-7591 イルソン･リー (ex.242) e-mail：ilee@integratedmaterials.com 岸田　篤士 (ex.232) e-mail：akishida@integratedmaterials.com

Tokyo Electron Limited (TEL) and Integrated Materials, Inc. (IMI) Announce Joint Strategic Marketing Alliance Program

Tokyo, JAPAN- November 29, 2007 - Tokyo Electron Limited (TEL) and Integrated Materials, Inc. (IMI) announced plans to jointly promote their most advanced furnace systems and SiFusion™ furnace consumables.

Under this agreement, TEL designates IMI as a strategic supplier making IMI products as its preferred furnace consumables and has an exclusive right to use IMI’s SiFusion™ 100% pure poly silicon furnace consumables for LPCVD Poly applications. It is expected that IMI’s SiFusion™ products will enable customer to improve TCO (Total Cost of Ownership) by reducing preventive maintenance (PM) cycles, and cleaning costs, while increasing furnace availability. IMI’s proprietary SiFusionTM surfaces allow TEL furnace systems to accumulate 5 to 20 times more Poly LPCVD film deposition before a PM.

“TEL is always interested in adopting a new technology that will benefit customers.” said Hiroshi Takenaka, Corporate Director of TEL and Senior Vice President and General Manager of Thermal Processing System Business Unit. “We expect this alliance will provide better overall furnace system performance to customers at lower overall cost of ownership.” Daniel Rubin, President and CEO of IMI commented “IMI is the first and the only company that has technologies to manufacture production proven furnace consumables with 100% pure poly silicon material. Together with TEL’s most advanced furnace systems, we expect to provide high purity, low maintenance, and improved cost of ownership furnace solutions to IC manufacturers worldwide.” TEL and IMI believes this alliance will provide customers with value added furnace solutions and both parties are currently discussing expansion of the alliance for other applications.

About TEL

TEL, established in 1963, is a leading supplier of innovative semiconductor and FPD production equipment worldwide. In Japan, TEL also distributes computer network related products and electronic components of global leading suppliers. To support this diverse product base, TEL is strategically located around the world. TEL is a publicly held company listed on the Tokyo Stock Exchange. www.tel.com

Contact: TEL Thermal Processing Systems Business Unit Shingo Tada: +81-3-5561-7381 teddy.tada@tel.com

About Integrated Materials, Inc.

With its patented SiFusion™ technology, Integrated Materials, Inc., Sunnyvale, Calif., is the first and only company to perfect the poly silicon furnace fixtures solution sought for years by the semiconductor industry. Integrated Materials’ unique family of SiFusionTM poly silicon furnaceware eclipses traditional quartz and silicon carbide consumables by its ability to increase yield by reducing particles in LPCVD as well as trace metal contamination and slip reduction in high temperature processes. SiFusionTM furnaceware improves productivity and reduces cost with the significant reduction of routine cleaning. www.sifusion.com

Contact: Integrated Materials, Inc. +1-408-437-7591 Ilsong Lee(ex.242) ilee@integratedmaterials.com Atsushi Kishida (ex.232) akishida@integratedmaterials.com