Integrated Materialsがポリシリコン製ファーネス・ライナーを発売

カリフォルニア州サンフランシスコおよびサニーベール、SEMICON West展示会ブース6480、2006年7月11日 – Integrated Materialsは、半導体ファーネス・プロセス用の高純度ポリシリコンSiFusion™ライナーを世界中で発売すると発表する予定です。現時点では、この革新的な新製品は、特定の顧客に対し「ベータ版」の検証を目的として少量が出荷されているだけです。このライナー冶具は、ファーネスボート、インジェクタ、ペデスタとともにSiFusionファーネスウェアの構成要素です。

ファブは、他のSiFusion製品とともにこの高純度ポリシリコン製ライナーを使用することで、従来の石英とシリコンカーバイド製の消耗品を凌駕する、ポリシリコンの持つ特長を完全に活かすことができます。その利点には、ファーネスの洗浄やコンポーネントの交換のためのダウンタイムの大幅な削減、パーティクル汚染の低減、総所有コストの低下などがあります。

Integrated MaterialsのCEO、トム・キャドウェル氏は、次のように説明しています。「このライナーをSiFusionファーネスウェア・スイートに追加することで、ファブは従来のファーネス用消耗品でやむを得ず行っていた時間と費用がかかる作業を削減することができます。SiFusionファーネスウェアを導入することにより、熱処理パフォーマンスの向上、ファーネスのスループットの増大、費用対効果やプロセス・パフォーマンスの改善というメリットが得られます。」

ファーネスのダウンタイムの減少 ファーネスのすべてのコンポーネントは、指定されたミクロン・レベルに達すると予防的な保守サービスが必要となります。このサービスを実施するためには、たとえ1つの部品を交換するためだけであっても、ファーネス全体をラインから外す必要があります。SiFusionファーネスウェアは、定期的な洗浄がまったく不要なので、生産キャパの有効稼働率を大幅に向上させることができます。装置の定期的な洗浄のためのダウンタイムが不要となり、したがって、その後の校正も必要ありません。このためファブは、スループットを大きく向上させ、個々のファーネスの稼働率を上げることができます。

パーティクルの発生と金属汚染の抑制 ファーネスのコンポーネントは、どれもウェハの不良の原因となる可能性があります。シリコンカーバイドと石英でできた部品は、ポリシリコンに比べるとはるかに多くのパーティクルを放出します。SiFusionは、金属イオンをまったく含まない高純度のポリシリコンを素材のベースとしており、ウェハの不良と歩留まりの低下の原因となるパーティクルをほとんど発生させず、微量金属を放出しません。すべての冶具にSiFusionを使用することで、ファブは不良発生率を低く抑えることができます。

叢書有効ストの低下 Williams Wright & Kelly, Inc.（WWK）が最近行った総所有コスト分析で確認されましたが、SiFusionは、優れた生産設備稼働率、週間良品ウェハ製造率、年間クリーニング費用、年間コンポーネント使用量、年間破損リスクに優れ、シリコンカーバイドと石英でできた競合装置に比べて総所有コストを抑制することができます。

SiFusionのライナー SiFusionライナーは、インジェクタとボートともに、半導体LPCVDファーネスの基本的な構成要素です。ライナーは、注入口から排出口までのガスの安定したフローを導き、また超高純度のバリアとなり、外部ファーネス管から排出されるパーティクルが製品歩留まりを低下させるのを防ぎます。

SiFusionライナーは、特許を取得した表面処理が特長で、熱応力を発散し、高温のサイクル中も構造の歪みを防ぐので、ファーネスのアップタイムの増大、不良率の低下、および歩留まりの向上に貢献します。

SiFusionライナーは、200～300mmの縦型ファーネス・プロセス用途に適しており、特に高温、LPCVD、HTOファーネスに最適です。SiFusionライナーは、すでに日本、韓国、シンガポールのファブで適合性を認められています。初期段階のパフォーマンス・データは、SiFusionライナーをボートともに使用すると、パーティクル・レベルが抜群に低下することを示しています。

製品の発売時期 SiFusionライナーとその他のファーネスウェアはIntegrated Materialsのグローバル販売チーム経由でご購入ください。最寄りの代理店は、www.sifusion.comで検索してください。