アビザテクノロジーがインテグレーテッドマテリアルズ（IMI）のSiFusionを採用

【2006年6月14日・米カリフォルニア州サニーベール発】　インテグレーテッドマテリアルズは本日、当社のSiFusion™ウェハシェルフボートがアビザテクノロジー（NASDAQ: AVZA）のRVP-300plus™拡散炉に採用されたと発表しました。アビザがSiFusionポリシリコンボートを採用した理由は、その構造的完全性、高純度ならびに高性能にあります。

拡散炉は、300 mmウェハで重要な高温下でのアニール（熱処理）作業を行うものです。超高純度のSiFusionシェルフボートを採用したアビザの拡散炉は、結晶スリップ、金属汚染、ランプレートならびに熱安定化レートに関するチップメーカーの厳しい基準に適合しやすくなりました。

ウェハにかかる圧力を緩和するように設計された高温プロセスは、それによって炉内のフィクスチャーが極限状況に置かれるため、スリップや格子ひずみなど不安定な状態を引き起こして、デバイス性能を劣化させることがあります。純粋なポリシリコンで作られたSiFusionウェハキャリアは、その優れた構造的完全性によって、最大で1200°Cの高温に達する条件の厳しいプロセスによる変形を生じることなく、厳しい温度サイクルに耐えることができます。SiFusionウェハキャリアを搭載したAvizaの拡散炉で実験した結果、窒素ガスを使った高温アニールでもスリップはまったく認められませんでした。

アビザテクノロジーの熱事業単位でバイスプレジデント兼ゼネラルマネージャーを務めるMay Suは言います。「当社の選考過程では、SiFusionボートにユニークな競争優位性が認められました。ポリシリコンフィクスチャーのスリップフリー性と熱衝撃耐性の改善が認められたSiFusionボートは、当社顧客が求める最先端のプロセス要求事項に適合させるのに効果的です。また、SiFusionは当社のシステム構成に容易に組み込めるように設計されています。」

最近、世界各地で発売されたSiFusionファーネスウェアは、純粋なポリシリコン材料で作られていて、理想的な高純度、保守作業の軽減化、コスト・オブ・オーナーシップ（COO）の向上、環境影響の抑制など、半導体メーカーが求める数々の特長を持っています。SiFusion製品ラインには、200 mmおよび 300 mmウェハ生産環境で使用されるあらゆる垂直炉アプリケーションに適したファーネスボート、インジェクター、ペデスタルが揃っています。

インテグレーテッドマテリアルズのTom Cadwell社長兼最高経営責任者（CEO）は言います。「アビザと提携して、スリップのない高温アニールプロセスを実現できたことをうれしく思います。SiFusionファーネスウェアの背景となった革新的な技術のおかげで、高温下での設置ならびにLPCVD窒素・ポリプロセスアプリケーションにおける従来型のクォーツおよびシリコンカーバイド製品が直面していた性能上の障壁を克服することができます。」

SiFusionポリシリコンファーネスウェアについて詳しくは、インテグレーテッドマテリアルズのウェブサイト（www.integratedmaterials.com）でご覧ください。

インテグレーテッドマテリアルズについて SiFusion™テクノロジーの特許を持つインテグレーティッドマテリアルズ（Integrated Materials, Inc. 本社：米国カリフォルニア州サニーベール）は、半導体業界が長年にわたって追求してきたポリシリコンファーネス・フィクスチャー・ソリューションを世界で唯一かつ初めて完成させた企業です。当社独自のSiFusionポリシリコンファーネスウェアは、クォーツ製またはシリコンカーバイド製の従来型の消耗品に代わって、LPCVD工程において発生するパーティクルや高温プロセスで発生する微量金属による汚染およびスリップを減少させることによって歩留まりを改善する、ユニークな製品群です。SiFusionファーネスウェアを導入することにより、定期的な洗浄の必要がなくなり、生産性が向上するだけでなく、保守コストを削減できます。すでに200 mmおよび300 mm大手ウェハファブにおいて認定を受けたSiFusionファーネスウェアは、今すぐにご利用いただくことができます。インテグレーテッドマテリアルズ製品は、アプリケーションエンジニアチームならびに各地域でのサポートスタッフによるサポートを世界各地で受けられます。ウェブサイトは www.integratedmaterials.com

RVP-300plus はアビザテクノロジー（ Aviza Technology, Inc.）の登録商標です。